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簡(jiǎn)要描述:輕松實(shí)現(xiàn)從毫米到納米無(wú)縫轉(zhuǎn)換測(cè)量。 兼具激光顯微鏡和探針顯微鏡功能的一體機(jī)。 85° 采用了有著高的專y物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)(能*大限度發(fā)揮激光性能),可以*確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。 LEXT 由于采用的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,達(dá)到了μ的平面分辨率。因此,可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。
輕松實(shí)現(xiàn)從毫米到納米無(wú)縫轉(zhuǎn)換測(cè)量。
兼具激光顯微鏡和探針顯微鏡功能的一體機(jī)。
輕松檢測(cè)85°
尖銳角采用了有著高N.A. 的專y物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)(能*大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以*確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。
LEXT 專用物鏡 有尖銳角的樣品(剃刀)
高度分辨率10nm,輕松測(cè)量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,OLS4500達(dá)到了0.12μm的平面分辨率。因此,可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯近有的亮度檢測(cè)技術(shù),OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測(cè)量還保證了測(cè)量?jī)x器的兩大指標(biāo)——“正確性”(測(cè)量值與真正值的接近程度)和“重復(fù)性”(多次測(cè)量值的偏差程度)的性能。
0.12μm行間距 高度差標(biāo)準(zhǔn)類型B, PTB-5從大范圍拼接影像中制定
目標(biāo)區(qū)域高倍率影像
容易使視場(chǎng)范圍變小,而通過(guò)設(shè)置,OLS4500的拼接功能z多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此,還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測(cè)量。
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